噴膠機是現代光電子產業中光刻膠涂布的重要設備，可對不同尺寸和形狀的基片進行涂膠，最大涂膠尺寸達8寸，得到厚度均勻的光刻膠層，同時可對大深寬比結構的側壁進行均勻涂膠；通過計算機系統控制器進行工藝參數的編輯和操作。

1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8寸。 　
　
2.可對不同粘度的膠進行噴涂，供膠分辨率在15uL以內。 　　

3.噴膠機可對大深寬比結構進行側壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
　　
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。
　　
5.計算機系統控制工藝參數。 　　

6.可手動卸載基片。 　　

7.噴膠室易清洗。 　　

8.供膠流速和流量可編程。 　
　
9.噴膠機供膠回吸量可調節。 　　

10.適用于所有光刻膠和聚合物。 　
　
11.具有自動針管式膠液供給系統，可調節壓力控制及測量膠量，并具有膠液回吸功能。 　
　
12.基片可對準。

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